TMC Stage-Base混合壓電電機主動隔振系統

TMC繼續在*技術的基礎上開發新的解決方案，以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主要消振系統。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非常快速地穩定，以最大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩定時間，進一步提高吞吐量，從而為移動平臺應用提供zui先jin的主動振動和運動消除系統。

優點：

Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術。只有TMC可以提供這種特別的高級低頻消振串行型技術，通過使用音圈電機（VCM），實現了主動移動平臺運動消除。

Stage-Base 450下一代主動控制系統采用TMC的STACIS技術，使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現了zhuo越的消振。這實現了始于0.6 Hz的業內最佳地面隔振，響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。

規格：

采用特別的STACIS®技術

采用高力、加長行程的壓電致動器

有效載荷的位置可重復性在微米以內

框架安裝設計

6個主動自由度

可選的VCM前饋和/或反饋

始于0.6 Hz的主動隔振

響應平臺運動的快速穩定時間

無軟空氣懸架

通過USB 2.0實現基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數字控制器

簡單、堅固且經濟高效

TMC Stage-Base混合壓電電機主動隔振系統