主動隔振平臺采用*的慣性振動傳感器、復(fù)雜的控制算法和*的壓電致動器，通過連續(xù)測量地板活動，擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時振動隔離，在一開始的設(shè)計中，主要用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設(shè)備振動隔離， 如今也可以成為嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，隨著技術(shù)的不斷提升，該隔振平臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。